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제목 챔버오염도측정. Software Microsoft Visual Studio C#, Labview 개요 베이크아웃시험이란 베이크아웃챔버 내부의 압력을 고진공 상태로 형성한 뒤 각 부품의 특성에 따라 고온으로 가열하여 부품에 응집된 오염물질을 제거하는 시험이다. 또한 베이크아웃 시험에서 오염 물질을 검출하고 분석하는 장치와 위성체 부 품으로 사용 적합성을 판단하는 기준으로 TQCM(Thermoelectric Quartz Crystal Microbalance) 값을 측정한다. 구성도
기능 ▶ 시험별 로그 관리 ▶ 실시간 감시
▶ 스케쥴 등록
▶ OPC Server
▶ Test Report - 시험 완료 후 엑셀보고서 자동 생성
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